SiCN/Si在纳米压痕过程中的塑性性能

doi:10.14103/j.issn.2095-8412.2017.02.005

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工业技术创新 ›› 2017, Vol. 4 ›› Issue (2) : 19-22. DOI: 10.14103/j.issn.2095-8412.2017.02.005

工业科学

SiCN/Si在纳米压痕过程中的塑性性能

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Plastic Properties of SiCN/Si during Nanoindentation

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Published
2017-04-25
Issue Date
2017-05-05