SiCN/Si在纳米压痕过程中的塑性性能
杨耀，廖宁波，李峰平
Plastic Properties of SiCN/Si during Nanoindentation
YANG Yao, LIAO Ning-bo, LI Feng-ping
工业技术创新 . 2017, (2): 19 -22 .  DOI: 10.14103/j.issn.2095-8412.2017.02.005

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